직장생활 · 삼성전자 / 공정설계

Q. 삼성전자 M기술팀 금속 배선공정시 도금법이 아닌 왜 PVD를 쓰는건가요?

웅옹옹

삼성전자 M기술팀 금속 배선공정시 PVD로 증착시킨다던데,,,, 고집적화 되면서 PVD로 금속 배선 증착시키면 스텝커버리지가 나빠서 키홀이 발생한다고 알고 있어요. 그래서 스텝커버리지 특성이 우수한 전기도금법으로 cu 증착 시키는 게 좋다고 배웠는데, 왜 삼성은 금속배선 만드는데 PVD를 사용하는건가요??


2022.06.08

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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