직무 · 삼성전자 / 공정기술

Q. 금속배선 공정

떼구르르ㄹ

금속배선 공정에서 다마신 공법을 적용해도 계속해서 electromigration, hillock 등의 이슈가 발생하나요? 금속배선 공정에서 주의해야 할 이슈가 무엇인가요? 금속배선 공정에서 가장 중요하게 여겨져야 하는 것이 무엇인가요?


2023.09.09

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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