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Q. 반도체 공정 현업에서 금속 증착 방식
삼삼성전자후보생
금속 증착하는데 유리한 방식이 무엇이 있을까요?? 원래 스퍼터링을 금속 증착에 많이 쓰는 것으로 알고 있었는데, 최근에는 사용 빈도가 많이 줄어든 것으로 알고 있습니다. 현업에는 금속을 증착하는데 어떤 방식을 주로 사용하는지 궁금합니다. 추가적으로 PECVD도 금속 증착에 활용하는지 궁금합니다.
2021.10.25
답변 1
- 철철강이현대제철코부장 ∙ 채택률 80%
배선공정에서는 아직 스퍼터를 활용해서 Cu를 증착하고 있습니다. 그 이후에 트렌치를 채우는 전해증착도 함께 이뤄지구요. 멘티께서 말씀하신 사용빈도가 줄어들었다는 것은 아마 일반적이 절연막 형성에는 CVD가 사용되기 때문에 그런 의문이 생긴것 같습니다.
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