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Q. Pvd(스퍼터링) 업무를 담당하시는 현직자분 계신가요??
스퍼터링 실습을 하며 문제를 해결한 경험을 자소서에 작성하였는데, 스퍼터링을 담당하시는 현직자의 관점에서 내용에 의문이 들거나, 이해가 안되는 부분이 있으신지 확인받고 싶습니다. Si기판에 Al막을 증착시키는 실습이었다. 스퍼터링 중 al타겟에서 아크가 발생해 방전이 불안정했다. 또한 아크로 인해 박막에 이물질이 올라가 문제가 됐다. (sem 이미지 찍어서 이물질을 확인했는지 아닌지는 기억이 잘 안납니다.) 아크가 발생하는 원인을 찾기 위해 전공서적 등을 찾아보았다. 타겟 표면이 산화되어 전하가 축적되어 아크가 발생했고, 다시 해결책을 찾아봤다. 프리스퍼터링을 해서 타겟을 클리닝해주면 해결할 수 있어 프리스퍼터링을 해주었다. 기억을 더듬어 작성했는데, 실무자가 보기에는 말이 안되고 이상한거는 없나요? 그리고 sem찍은거는 확실하지는 않지만, sem찍었다는 얘기를 넣어주는게 좋을까요?
2020.05.25
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